此為物理反應法，一般稱為臭氧，為非常高活性之氣體，極易破壞甲醛之分子鏈，使甲醛變為二氧化碳及水分子，也會因光、熱、水以及各種觸媒而加速分解為氧。
可作為消毒殺菌使用，對各式各樣的病毒有一定的氧化作用，跟紫外線有異曲同工之妙。

可作為淨化空氣使用。

※注意事項：能消滅病菌細胞亦能破壞人體細胞，大量吸入會造成呼吸系統受損，對其他細胞也有一定能力的破壞，使用時強烈建議人員離開現場。